掩模光刻
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mask lithography
литография для изготовления фотошаблонов
литография для изготовления фотошаблонов
примеры:
X 射线(光刻)掩模
маска для рентгеновской литографии, рентгеношаблон
电镀形成的光掩模
electroformed photomask
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