混合物理化学气相沉积
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гибридное физико-химическое парофазное осаждение, Hybrid Physical-Chemical Vapor Deposition (HPCVD)
пословный:
混合物 | 物理化学 | 化学气相沉积 | |
физ. смесь; композиция хим. смесь; состав; микстура; биол. гибрид
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